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恒运昌(688785.SH)：Cedar系列射频电源将进一步提升薄膜沉积，刻蚀等工艺参数及良率

   时间：2026-05-20 17:12 作者：快讯

格隆汇5月20日丨恒运昌(688785.SH)在互动平台表示，截至2025年底公司新一代射频电源系统Cedar系列已处于样机验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，产品可支撑更先进制程。Cedar系列射频电源将进一步提升薄膜沉积，刻蚀等工艺参数及良率，并向更多、更广泛的应用领域拓展。公司将积极推进该系列产品的验证。

 
 
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