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台积电CEO：目前生产中不需要高数值孔径EUV

   时间：2026-06-04 11:02 作者：ITBEAR
格隆汇6月4日｜台积电首席执行官：我们已购买高数值孔径EUV光刻设备用于研发，但由于成本高，目前生产中不需要高数值孔径EUV。我们正在努力降低成本，并在投入生产前最大化高数值孔径EUV的效益。
 
 
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